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        射頻磁控濺射鍍膜裝置
        簡要描述:

        射頻磁控濺射鍍膜裝置
        主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以進(jìn)行直接濺射,亦可以實現(xiàn)反應(yīng)濺射。

        • 產(chǎn)品型號:RT-RM-1
        • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
        • 更新時間:2019-08-15
        • 訪  問  量:1583

        詳細(xì)介紹

         

         

        射頻磁控濺射鍍膜裝置 

         

        主要用途:本設(shè)備主要用于大專院校研究和開發(fā)納米級單層膜;如各種硬質(zhì)膜、金屬膜;也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以進(jìn)行直接濺射,亦可以實現(xiàn)反應(yīng)濺射。

        射頻磁控濺射鍍膜裝置 

        主要特點:結(jié)構(gòu)簡捷、操作簡便,真空度維護(hù)高,安全可靠。

         

        鍍膜機應(yīng)安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內(nèi),并具備清潔水源、及220V的穩(wěn)定電壓等條件的地方。

        1、地面的基本水平度要經(jīng)過調(diào)整,不得高低不平;

        2、環(huán)境溫度:10℃~30℃;

        3、相對濕度:不大于75%;

        4、耗水量(進(jìn)水溫度≤25℃,2.5Kg≥水壓≥1.5Kg):約0.2T/h;

        5、水質(zhì)要求:

        矽酸硬度<6度,PH值:7-8,電導(dǎo)率:200us/cm,沉積率:<200mg/L。

        6、電壓: 220V,50HZ,

        電壓波動范圍: 198~231V;

        頻率波動范圍:49~51Hz;

        7、水壓:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;

        8、充入氣體純度99.9%或以上;

        9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

         

        設(shè)備規(guī)格參數(shù)

        1.1、濺射處理室:

               1、鐘罩:內(nèi)徑225mm×高度260mm;

               2、試樣臺:直徑80mm();

               3、試樣旋轉(zhuǎn):靜止;

               4、擋板:手動;

               5、襯底加熱器:不銹鋼加熱器(DC24V);

               6、襯底溫度范圍:室溫~200℃;

               7、襯底可調(diào)距離:20mm~60mm;

               8、濺射室限真空:0.5Pa

        1.2、真空系統(tǒng):

               1、抽氣系統(tǒng):由機械泵組成的一級真空系統(tǒng);抽氣速率:4升/S

               2、真空檢測:電阻真空計、電阻規(guī);

               3、常用真空度:1~20Pa

               4、操作:手動

        1.3、濺射電源:

        1、射頻電源:頻率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

        2、阻抗匹配器范圍:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 

        3、供電:AC 220V;

        4、冷卻方式:風(fēng)冷;

          1.4、 磁控靶:

        1、靶材直徑:Ф50mm、 一個永磁靶;

        2、靶材厚度:3~6mm;

        1.5、進(jìn)氣系統(tǒng):2路轉(zhuǎn)子流量計進(jìn)氣,

        1.6、電源要求:AC 220V  50Hz  10A

        1.7、氣體要求:氬氣--純度99.9%(樣品有特殊要求時使用高純)

        1.8、冷卻要求:靶體水冷,濺射電源風(fēng)冷

        1.9、體積重量:體積:L550mm×W680mm×H1480mm;約120kg

         

         

         

         

         

         

        產(chǎn)品名稱:粗糙度儀 便攜式表面粗糙度儀 
        產(chǎn)品型號: RL100

        粗糙度儀/便攜式表面粗糙度儀 型號:RL100

        RL100是我公司推出的新一代粗糙度儀,也叫袖珍便攜式表面粗糙度儀。它具有測量精度高、測量范圍寬、操作簡便、便于攜帶、工作穩(wěn)定等特點,可以廣泛應(yīng)用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測,該粗糙度儀是傳感器主機一體化的袖珍式粗糙度儀,具有手持式特點,更適宜在生產(chǎn)現(xiàn)場使用。外形采用拉鋁模具設(shè)計,堅固耐用,抗電磁干擾能力顯著,符合當(dāng)今設(shè)計新趨勢。 
        優(yōu)點: 
        用優(yōu)化的電路設(shè)計及傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計,將電箱、驅(qū)動器及顯示部分合為一體,使其達(dá)到高度集成化;任意選擇Ra、Rz、Rq、Rt測量參數(shù);不僅可以測量外圓、平面、錐面,還可測長寬大于80×30mm的溝槽。 

        功能特點: 
        采用高速DSP處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和計算,測量和運算速度大提高。顯示液晶采用流行的OLED顯示屏,高亮度,無視角,寬溫度,適合各種場合使用。 
        采用鋰離子充電電池,可長時間工作,無記憶效應(yīng),可邊充電邊工作,充電時間短,電池壽命長。 
        使用通用的USB接口進(jìn)行充電和通訊。采用的充電器或計算機的USB口進(jìn)行充電,方便快捷。 
        點陣液晶顯示,界面提示信息豐富。 
        實時監(jiān)測鋰電電池電量并顯示,及時提醒用戶進(jìn)行充電并具有充電進(jìn)度提示。 
        自動關(guān)機功能以及低功耗軟硬件設(shè)計使儀器工作時間長,適合各種現(xiàn)場使用。 
        傳感器測頭具有保護(hù)門,有效的保護(hù)了傳感器測頭,保證了測量的精度。 
          
        工作原理: 
          當(dāng)傳感器在驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動下沿被測表面作勻速直線運動時,其內(nèi)部垂直于工作表面的觸針隨工作表面的微觀不平輪廓產(chǎn)生垂直方向的位移,再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn)換成電量的變化,將該電信號進(jìn)行放大,濾波,經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號,再經(jīng)DSP處理,計算出Ra、Rz值并顯示。 
        技術(shù)參數(shù): 
        測量參數(shù)(μm ):Ra、Rz、Rq、Rt 
        行程長度(mm):6 
        取樣長度(mm):0.25 ,0.80 ,2.50 
        評定長度(mm):1.25 ,4.0 , 
        測量范圍(μm ):  
                        Ra:    0.05 ~ 10.0 
                        Rz:     0.1 ~ 50 
        示值誤差:±15% 
        示值變動性: <12% 
        傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度: 
                        針尖圓弧半徑:10 μm±1 μm  
        傳感器觸針靜測力及其變化率: 
                        觸針靜測力:    ≤ 0.016N 
                        測力變化率:    ≤ 800N/m 
        傳感器導(dǎo)頭壓力: ≤ 0.5N 
        電池:3.7V鋰離子電池 
        外形尺寸:106 mm×70 mm×24 mm 
        重量:200g 
        工作環(huán)境條件: 
                        溫    度:  -20℃~40℃ 
                        相對濕度:   <  90% 
                        周圍無振動、無腐蝕性介質(zhì) 
          
        日常維護(hù)與保養(yǎng): 
        避免碰撞、劇烈震動、重塵、潮濕、油污、強磁場等情況; 
        每次測量完畢,要及時關(guān)掉電源,以保持電池能量,并應(yīng)及時對電池進(jìn)行充電; 
        傳感器是儀器的精密部件,切記精心維護(hù)。每次使用完畢,要將儀器的保護(hù)蓋輕輕蓋好。避免對傳感器造成劇烈的振動;隨機標(biāo)準(zhǔn)樣板應(yīng)精心保護(hù),以免劃傷后造成校準(zhǔn)儀器失準(zhǔn)

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